Väitös signaalikäsittelyn ja akustiikan alalta, Jeremias Seppä
Väitöksen nimi on Lineaariset ja jäljitettävät asteikot nanometrologiassa
Map © OpenStreetMap. Some rights reserved.
Jeremias Seppä esittää tarkastettavaksi väitöskirjansa Lineaariset ja jäljitettävät asteikot nanometrologiassa.
Tässä väitöskirjassa tutkitaan ja kehitetään erityisesti menetelmiä laserinterferometrin ja -diffraktometrin asteikkojen jaksollisten virheiden mittaamiseen ja pienentämiseen, ja sovelletaan näitä menetelmiä tarkkojen mittausten tekemiseen. Laserinterferometrin ja -diffraktometrin asteikkojen virheiden tutkimiseen käytetään kapasitiivisia antureita ja pyöröpöydän avulla määritettäviä diffraktiokulmia. Määritettävien korjausten avulla voidaan saavuttaa pikometrialueen mittausepävarmuus.
Vastaväittäjänä toimii Dr. Brian Eves, National Research Council Canada, Canada
Valvojana on professori Erkki Ikonen, Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, Signaalinkäsittelyn ja akustiikan laitos